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近日,天准科技(股票代码:688003。SH)参股的姑苏矽行半导体手艺无限公司(下文简称“矽行半导体”)颁布发表,其自从研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已收到客户正式订单,即将交付客户工场利用。做为半导体系体例制前道工艺的焦点检测配备,明场晶圆缺陷检测设备持久受制于海外手艺垄断;此次面向40nm工艺制程的TB1500获得客户正式订单,标记着我国正在前道微不雅缺陷检测配备范畴实现了手艺节点的严沉冲破,为建立自从可控的财产生态奠基环节基石。
天准科技现已构成笼盖全工艺节点的明场缺陷检测产物矩阵,包含TB1000/TB1100(65-180nm)、TB1500(55/40nm)取TB2000(28/14nm)三大系列;精准婚配分歧手艺节点,存储芯片等多元化制程的缺陷检测需求。基于“自从研发+海外并购+生态投资”的成长计谋闭环,公司已接踵霸占晶圆微不雅缺陷检测、套刻精怀抱测、环节尺寸量测及掩膜量测等焦点手艺,掩膜出产到封拆测试的全流程量检测方案集群。
将来,天准科技将依托先辈光学传感手艺取AI驱动的缺陷识别算法,向更高精度的半导体量检测挑和倡议冲锋,从头定义芯片制制的“质量防地”,加快中国半导体财产链的自从可控历程。天准,杰出视觉配备平台企业,努力以人工智能手艺鞭策工业数智化成长!天准专注办事电子、半导体、新汽车等工业范畴,供给业界领先的高端视觉配备产物,做为全球视觉配备焦点供应商,供给高端视觉丈量、检测、制程配备。正在半导体范畴,深度结构前道量检测,套刻取环节尺寸丈量等焦点制程节制配备。正在新汽车和机械人范畴,供给高阶从动驾驶方案、通用智能方案及智能配备等产物。